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產品名稱

鉭靶材

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產品描述

產品名稱:鉭靶材
標準:GB/36292006
牌號:RO5200, RO5400, RO5252(Ta2.5W), RO5255(Ta10W)
純度:≥99.95%
狀態:退火態  硬態
規格:直徑(50400)mm *厚度(328)mm
成份說明:

Ta

99.95 ?。プ钌?/p>

O

0.0120  %最大

C

0.0040  %最大

N

0.0040  %最大

H

0.0010  %最大

S

0.0001  %最大

Al

0.0005  %最大

Ca

0.0005  %最大

Cd

0.0005  %最大

Cl

0.0005  %最大

Co

0.0005  %最大

Cr

0.0005  %最大

Cu

0.0005  %最大

Fe

0.0005  %最大

Hf

0.0005  %最大

K

0.0001  %最大

Li

0.0001  %最大

Mg

0.0005  %最大

Mn

0.0005  %最大

Mo

0.0030  %最大

Na

0.0001  %最大

Nb

0.0350  %最大

Ni

0.0005  %最大

Pb

0.0005  %最大

Si

0.0005  %最大

Sn

0.0005  %最大

Ti

0.0005  %最大

Th

0.0050  %最大

V

0.0005  %最大

W

0.0050  %最大

Zn

0.0005  %最大

Zr

0.0005  %最大

Y

0.0005  %最大

U

0.0050  %最大

其它

0.0005  %最大

再結晶:95%最少
晶粒度:最小40μm
表面粗糙度:Ra 0.4 最大
平整度:0.1mm or 0.10% 最大.
公差:直徑公差+/ 0.254
如有特殊要求,雙方具體商定

  鉭靶材是重要的薄膜技術用材料,鉭靶材最終制作純度可高于99.95%,且其晶粒尺寸小,再結晶組織和三個軸向的一致性好,作為陰極濺射靶材所形成的氧化膜質度均勻,不與空氣中其他物質發生化學反應,保護效果持久。鉭濺射靶材在光導纖維,半導體晶片和集成電路中得到了廣泛的應用,在軍事中也獲得青睞,目前已研制成功了鉭制穿甲彈。

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